公开号：	US2007095148A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	压力传感器
摘要：	一个低电容电极和一个电容性电极分别安装在薄膜晶体管和相对基板上，并且它们是相对的。在每个基板的周围都有密封面。密封面在基板之间构成已设定的间隙，并且环绕空间被密封面密封。压力传感器用来测量作用在基板上的压力，这是基于低电容电极和对面基板上的电容电极之间的电容变化实现测量的。在压力传感器上集成一个加速度传感器并安装在薄膜晶体管基板上。加速度传感器在压力传感器中的集成消除了独立配置压力传感器和加速度传感器的必要，并且可以对压力传感器加以保护，它同时也增强了加速度传感器的抗潮性。